C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded and Safety Guideline for Exhaust

and Safety Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment

スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか？」といった質問に対する答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。その時点でのあるいは将来の制約および目標に対する評価を基にした答になる場合もある。ディスパッチャのアウトプットはターゲットリソースの次の活動に関する決定という形をとるが，インタフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して，マニュアルでのシナリオもサポートできる。

This Standard covers 300 mm equipment only

both suppliers and purchasers can uniformly define epitaxial layer quality

SEMI E140-0305 (first published)

C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded and Safety Guideline for Exhaustglobal Gases Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org1984200211 : (Si2H6) Referenced SEMI Standards SEMI C1 Specifications for Reagents SEMI C3 Specifications for Gases