SiC Webinar February 2023 - On Demand StdPbc-0613 本スタンダードはプロセス実行エージェントが受け入れることができるある材料の処理を行うアプリケーションについて記述する。また，材料を処理する概念，処理に関する装置の動作，および作業を完全に実行するのに必要となるメッセージサービスについて説明する。

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本スタンダードはプロセス実行エージェントが受け入れることができるある材料の処理を行うアプリケーションについて記述する。また，材料を処理する概念，処理に関する装置の動作，および作業を完全に実行するのに必要となるメッセージサービスについて説明する。

1-0225 (technical revision)

どのデータ・アイテムがオプションで，どれが必須の仕様かは本文書の中で指定されない。

membrane treatment

SEMI M95-0925 (first published)

SiC Webinar February 2023 - On Demand StdPbc-0613 本スタンダードはプロセス実行エージェントが受け入れることができるある材料の処理を行うアプリケーションについて記述する。また，材料を処理する概念，処理に関する装置の動作，および作業を完全に実行するのに必要となるメッセージサービスについて説明する。

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